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ALLGEMEINE GRUNDLAGEN VON PROJEKTEN UND DES PROJEKTMANAGEMENT3

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Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators Rutilius Taurus Aemilianus 3Letter III "What is anOptical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators shows how to design and fabricate optical microsystems using innovative technologies and and original architectures. A barcode scanner, laser projection mirror and a microspectrometer are explained in detail, starting from the system conception, discussing simulations, choice of cleanroom technologies, design, fabrication, device test, packaging all the way to the system